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中微公司拟增资上海睿励 布局集成电路工艺检测

  为完善业务布局,拓展公司业务范围,半导体企业中微公司(688012)拟1亿元增资睿励科学仪器(上海)有限公司(下称“上海睿励”),布局集成电路工艺检测设备领域。

  12月28日晚间,中微公司公告,公司拟对上海睿励进行增资,以现金方式投资1亿元人民币,认购上海睿励新增注册资本8333.33万元人民币,认购单价为1.2元/股(注册资本)。上述交易完成后,上海睿励注册资本增加至428亿人民币,公司持股比例为20.4467%。

  公告显示,上海睿励成立于2005年6月27日,注册资本约3.45亿元人民币,致力于集成电路生产前道工艺检测领域设备研发和生产,是国内少数几家进入国际领先的12英寸生产线的高端装备企业之一,并且是国内唯一进入某韩国领先芯片生产企业的国产集成电路设备企业。本次增资,上海睿励的投前估值为4.1353亿元人民币。

  上海睿励主营的产品为光学膜厚测量设备和光学缺陷检测设备,以及硅片厚3度及翘曲测量设备等。上海睿励自主研发的12英寸光学测量设备TFX3000系列产品,已应用在65/55/40/28纳米芯片生产线D存储芯片产线DNAND芯片的生产,并正在验证96层3DNAND芯片的测量性能。

  上海睿励应用于LED蓝宝石衬底图形检测的自动光学检测设备,也已成功销售到众多国内LEDPSS衬底和LED芯片生产线。

  上海睿励正在开发下一代可支持更高阶芯片制程工艺的膜厚和OCD测量设备以及应用于集成电路芯片生产的缺陷检测设备,进一步扩大可服务的市场规模。截止2020年11月30日,上海睿励拥有专利87项,软件著作权39项,注册商标8项,作品著作权1项及备案域名2项。

  中微公司称,公司基于经营战略发展考虑,拟对上海睿励进行增资。集成电路芯片生产设备包括光刻、刻蚀、薄膜、工艺检测、清洗、离子注入等诸多个细分种类。工艺检测设备是为芯片生产各工艺提供监测数据以确保各项工艺指标满足要求从而提高成品率的关键性设备。根据SEMI发布的近几年的年度统计,工艺检测设备市场规模约占半导体芯片制造工艺设备的13%,是仅次于光刻、刻蚀和薄膜的第四大细分设备领域。随着芯片工艺不断向更小节点发展,芯片生产过程中的所需检测的步骤和频次越来越高,对工艺检测设备的需求量随之增加。

  中微公司表示,公司在集成电路刻蚀设备领域的研发和市场化方面已经取得了一定的成果,前期通过投资国内领先的薄膜设备公司沈阳拓荆科技有限公司在集成电路薄膜设备领域进行了布局。本次投资上海睿励将使公司能够布局集成电路工艺检测设备领域。

  此外,中微公司同上海睿励的客户和供应商有高度重叠,通过本次投资,能进一步形成产业链协同效应。投资上海睿励是公司聚焦并落实高端芯片设备战略的又一步骤,系公司为完善业务布局而进行的投资。通过对上海睿励的投资,公司有望与上海睿励形成协同发展效应。

  值得一提的是,因上海睿励系公司董事杨征帆担任现任董事、公司董事朱民在过去12个月内担任董事的企业,同时公司董事沈伟国系上海睿励过去12个月内第一大股东上海创业投资有限公司的执行董事,故本次投资构成关联交易,但未构成重大资产重组。

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